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硬件和性能参数

质子交换炉：

1基片尺寸： 4 寸片、3寸，2cm*2cm方片；

2 设备温度区间：200℃~450℃;

3 控温精度：0.1℃;

4 恒温区长度及温度均匀性：≤±0.5℃/300mm ，位置位于石英管底部开始向上 300mm

5 单点稳定性： ±1℃/12h；

6 可实现自动上下料，旋转和上下多维度搅拌，；

7 提拉旋转系统：模组机械手位于石英管上方，实现提拉与搅拌功能，提拉范围可调 20～50mm；速度可调，速率约为 1～5mm/s；旋转速率可调 1～5RPM；

8 具有超温、极限超温超温、断偶报警和保护功能；

9 控温方式；3点内外热偶串级控温。

10 工艺及参数支持在线修改，可根据需求进行自定义；

11 带尾气废液处理：工艺完成后可将石英管内的液体排到废液桶内。

12 工艺控制：计算机自动控制，工艺自动运行。（1）25 条可编辑工艺，每条工艺可编 辑时间、温度、流量等参数。（2）具有 spike 控温、profile 控温、工艺可编辑。

退火模块：

（1）基片尺寸：4 英寸及以下；

（2）石英管数量：1 管；

（3）工作温度：：300～1150℃；

（4）控温精度：0.1℃；

（5）恒温区长度及温度均匀性：±1℃/200mm（300℃～500℃），

（6）最大升温速率：15℃/min；

（7）控温方式：3 点内外热偶串级控制；

（8）送片方式：SIC 杆套石英管，自动推拉舟（最大载重 10Kg)，速度 60～

300mm/min 连续可调；

（9）气路系统：一路氧气，一路氮气，预留一路，气体均采用数字质量流量计

精确控制气体流量；另设一路保护气路 N2。

（10）工艺控制：计算机自动控制，工艺自动运行。1）100 条可编辑工艺，

每条工艺可编辑时间、温度、流量等参数。2）具有 spike 控温、profile

控温、spike 和 profile 混合控温的功能，工艺可编辑。3）分段 PID 功

能，可以满足不同温度段的控温功能，工艺可编辑。4）拉温功能：32

条不同的温度点的 spike 和 profile 的温差存储。

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售后服务

售后服务

1.质保期限为 二 年。质保期内，如果有因质量问题而引起的损坏，乙方应对产品予以维修或更换，全部服务费和更换产品或配件的费用由乙方承担，乙方如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。保修期后继续支持维修，并按成本价标准收取维修及零件费用。

2.质保期内，乙方将向最终用户提供优质的售后技术支持服务，开通24小时热线电话接受最终用户的电话技术咨询， 2 小时内响应；如故障不能排除，乙方应在 24 小时内提供现场服务，待产品运行正常后撤离现场。

3.乙方应定期对产品免费进行预维护保养，每年 1 次，以防患于未然。在整个产品运行过程中，乙方帮助最终用户解决在应用过程中遇到的各种技术问题。

4.对于质保和备品备件的服务和销售承诺，投标（应答）文件优于本条款的，乙方按照投标（应答）文件承诺执行。

5.设备调试期间，提供所需验证材料和晶片。